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4月17日，芯源微(688037)披露2022年年报，公司实现营业收入13.85亿元，同比增长67.12%；同期实现归属于上市公司股东的净利润2亿元，同比增长158.77%；归属于上市公司股东的扣非净利润同比增长114.99%；经营性净现金流1.93亿元，同比大幅由负转正。

公司阐述，营业收入增长主要原因是半导体行业景气度持续向好，同时公司产品竞争力不断增强，新签订单同比大幅增长，收入规模持续增长。净利润同比增长主要原因是公司销售收入增长。

研发方面，报告期内，公司持续加大自主研发力度，不断对产品进行技术完善和革新，实现了在整机产品、核心单元技术、核心零部件等多方面的实质性突破，公司全年研发支出1.52亿元，同比增长64.47%。

据披露，芯源微主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），可用于8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）及6英寸及以下单晶圆处理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等环节）。

芯源微董事长、总裁宗润福在年报致辞中写道：与收入利润高速增长相比，更可喜的是芯源微在前道涂胶显影领域的技术突破，公司前道涂胶显影机与各厂家主要技术节点的国际主流光刻机都能联机量产，特别是28nm浸没式涂胶显影机在客户端的联机验证应用，标志着芯源微前道涂胶显影机已经实现了国内28nm及以上制程工艺的全覆盖，为芯源微的持续健康发展开辟了更广阔的空间。

“技术规律上，前道半导体工艺设备经过多个客户多轮次的充分验证后，一定会改进的更完善、更稳定，制造成本也开始下降。芯源微的前道涂胶显影机已陆续开始放量，将迎来批量订单的增长拐点。”他指出。

年报显示，公司全年新签订单约22亿元，再创历史新高，其中前道产品实现了快速放量。

在回望近年来成绩和展望未来时，宗润福总结，芯源微从2019年上市时的年收入2.1亿元，成长到2022年的13.8亿元，年复合增长率达到了87.3%。新产品化学清洗机的研发测试正在沈阳厂区进行中，芯源微上海子公司的厂区建设也已进入机电设备安装阶段，2023年第四季度将投入生产，届时化学清洗机将成为芯源微新的增长点。同时，公司日本子公司也于2022年投入运营，充分发掘日本的行业人才和供应链优势，开拓国际资源。

同时，宗润福给出了芯源微的企业愿景：“为客户创造价值，成为受社会尊重的世界级企业。我们对世界级企业的定义是，首先规模上年收入要超过10亿美元，其次一定要走出国门，面向全球市场；第三要创新引领，不能总是停留在跟随阶段。”